更新時(shí)間:2024-12-07
vatvalve蝶形控制閥 61328-KAAE-000161.3 蝶形控制閥可提供出色的壓力控制性能。憑借其快速且精準(zhǔn)的作用動(dòng)作控制器(0.1 秒),61.3 蝶形控制閥成為 CVD 和 ALD 工藝中精細(xì)控制的理想解決方案。
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vatvalve蝶形控制閥 61328-KAAE-0001
61.3 蝶形控制閥可提供出色的壓力控制性能。憑借其快速且精準(zhǔn)的作用動(dòng)作控制器(0.1 秒),61.3 蝶形控制閥成為 CVD 和 ALD 工藝中精細(xì)控制的理想解決方案。閥板可充當(dāng)節(jié)流元件,改變閥門開度的流導(dǎo)特性。61.3 蝶形控制閥的集成壓力控制器可計(jì)算所需的閥板位置,以盡快實(shí)現(xiàn)設(shè)定壓力。
該系列產(chǎn)品專為氣流中有粒子的惡劣下游工藝設(shè)計(jì)。即使粒子載荷高并且存在因設(shè)計(jì)而沉積的碎屑,61.3 蝶形控制閥仍能夠保持正常運(yùn)行。
61.3 系列已經(jīng)安裝在數(shù)千個(gè)各種工藝條件下的要求苛刻的應(yīng)用中,證明了其可靠性。憑借堅(jiān)固的設(shè)計(jì)、直接安裝選項(xiàng),以及簡(jiǎn)單且輕松的維護(hù),61.3 系列在各個(gè)方面都令人信服。
閥體材料、表面處理、彈性體、法蘭連接、特殊尺寸以及特殊控制算法(自適應(yīng)、固定 PI 下游/軟抽)方面的各種設(shè)計(jì)選項(xiàng)可簡(jiǎn)化在不同真空應(yīng)用中的集成。
特點(diǎn):
好的壓力控制
運(yùn)行非???/p>
板載軟件,用于本地運(yùn)行
惡劣工藝條件下可實(shí)現(xiàn)可靠運(yùn)行
優(yōu)勢(shì):
工藝可控性更好
正常運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)/性能不受限
運(yùn)行成本低
技術(shù)參數(shù):
尺寸
DN 25 (1")
驅(qū)動(dòng)器
步進(jìn)電機(jī)
材料
鋁
法蘭
ISO-KF
控制器配置
SPS
控制器接口+感應(yīng)器
邏輯(A/D)/2個(gè)感應(yīng)器
低壓力
1 × 10-8 mbar
最高壓力
1.2 bar (abs)
泄漏率
1 × 10-9 ls-1
循環(huán)直到第一次維修
2 000 000
最高溫度閥體
≤ 150 °C
密封
FKM
閘門上的壓差
≤ 1 bar
典型的關(guān)閉或開放時(shí)間
90 ms
最小可控電導(dǎo)率(N2分子流)
0.15 ls-1
最大電導(dǎo)率(N2分子流)
22 ls-1
重量
2.2 kg / 4.85 lbs
vatvalve蝶形控制閥 61328-KAAE-0001